鳳鳴亮半導(dǎo)體晶元片非接觸厚度激光檢測(cè)儀

一、概述：

半導(dǎo)體晶元片非接觸厚度激光檢測(cè)儀具有，在線，動(dòng)態(tài)，非接觸，無損傷，高精度的測(cè)厚功能，并且，這種設(shè)備對(duì)人與環(huán)境都無污染無傷害（無需作環(huán)評(píng)）測(cè)量范圍廣泛，可用于檢測(cè)半導(dǎo)體晶元片的厚度，和各種金屬制品生產(chǎn)線、塑料膜擠出、嵌鑲板、壓模木板、地毯、PVC、橡膠壓制等生產(chǎn)線。測(cè)量不受灰塵、振動(dòng)等外界環(huán)境的影響。對(duì)于被測(cè)材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面是否平整沒有要求。

二、應(yīng)用背景：

非接觸式測(cè)厚儀顧名思義就是測(cè)量?jī)x器與被測(cè)物體之間是無接觸就可測(cè)量厚度的，能夠很好的保護(hù)所測(cè)物體。在工業(yè)生產(chǎn)中多用來連續(xù)測(cè)量產(chǎn)品的厚度（如半導(dǎo)體晶元片，鋼板、鋼帶、紙張、涂層、板材、薄膜、片材等）。非接觸式測(cè)厚儀有激光測(cè)厚儀、電渦流測(cè)厚儀，根據(jù)應(yīng)用不同，又可分為薄膜測(cè)厚儀，鍍層測(cè)厚儀和板材測(cè)厚儀激光測(cè)厚儀 激光在線測(cè)厚儀是新一代研制的在線、動(dòng)態(tài)，非接觸式的測(cè)厚儀。它集激光技校，光電檢測(cè)技校和計(jì)算機(jī)工業(yè)控制技術(shù)三者于一身，可廣泛用于生產(chǎn)線上對(duì)各種材料的厚度進(jìn)行在線的實(shí)時(shí)測(cè)厚，是我國(guó)工業(yè)生產(chǎn)線產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要設(shè)備。 主要技術(shù)特點(diǎn)： 非接觸式、在線測(cè)厚 采樣速度快（達(dá)：10000個(gè)/秒）、精度高，工作穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單 厚度范圍0～30mm（或可按要求設(shè)定范圍） 精度高可達(dá)2um。 主要應(yīng)用領(lǐng)域： 電池行業(yè)，防水卷材，橡膠、壓延冷軋鋼銅鋁板帶行業(yè)、朔料薄膜生產(chǎn)行業(yè)、機(jī)械、輕工等行業(yè)。激光測(cè)厚儀在工業(yè)生產(chǎn)中多用來連續(xù)測(cè)量產(chǎn)品的厚度。由于其種類繁多，在各個(gè)領(lǐng)域都有

LTG-680型在線激光測(cè)厚儀是一個(gè)非接觸式的板材，帶材，片材，卷材的厚度測(cè)量系統(tǒng)，控制材料厚度在工業(yè)生產(chǎn)中非常重要，LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)可以用較少的時(shí)間來確保這一功能的實(shí)現(xiàn)，系統(tǒng)會(huì)在產(chǎn)品不合格的情況下立即發(fā)出聲和光的警報(bào)來提高產(chǎn)品的質(zhì)量以減少?gòu)U品，這種強(qiáng)大的程序監(jiān)控系統(tǒng)既可以增加產(chǎn)量同時(shí)也節(jié)約了原材料和能源。

LTG-680型在線激光測(cè)厚儀運(yùn)用*的激光三角測(cè)量技術(shù)并采用非接觸可掃描方法進(jìn)行測(cè)厚，10KHz的高速取樣頻率和0.0001mm的高分辨率，這種方法較之前的接觸式測(cè)厚更值得信賴并且維修費(fèi)低，另外有一個(gè)好處是沒有產(chǎn)品標(biāo)記或壓迫，激光主機(jī)安裝在我們*的一個(gè)安裝支架上，免維修且不需要對(duì)光學(xué)主機(jī)進(jìn)行日常的清理，也不需要進(jìn)行頻繁的校準(zhǔn)，即使在高速運(yùn)作和持續(xù)生產(chǎn)的情況下，激光技術(shù)可以保證不存在盲區(qū)，可以進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)的*測(cè)厚。以Windows為基礎(chǔ)的系統(tǒng)軟件有很多的設(shè)置功能，實(shí)時(shí)圖像顯示，顯示每塊面板，警報(bào)特征，厚度趨勢(shì)圖，產(chǎn)品庫(kù)以及用戶數(shù)據(jù)庫(kù)，另外產(chǎn)品統(tǒng)計(jì)也可以根據(jù)需求進(jìn)行編寫呈現(xiàn)或打印。該系統(tǒng)已經(jīng)實(shí)施過十多年，在電池/電容行業(yè)和各種面板生產(chǎn)工廠，壓延冷軋金屬板帶生產(chǎn)廠，塑料薄膜，玻璃纖維生產(chǎn)廠中的不同應(yīng)用， 包括很多的壓力機(jī)既有單種類型的也有多種開放類型的，也有在磨砂機(jī)后或在精整作業(yè)線上的。 

 三、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

• 任何速度下都高精度 。

• 非接觸式，高精度，低維修

• 表面無標(biāo)記

• 可測(cè)量薄板、卷材、板材

• 產(chǎn)量高

• 能適應(yīng)惡劣環(huán)境

LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)在惡劣環(huán)境下能保持高精準(zhǔn)度和低維修，在提供激光在線測(cè)厚系統(tǒng)方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，根據(jù)不同的應(yīng)用，LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)可以進(jìn)行配置高性能的空氣凈化系統(tǒng)保持干凈和通風(fēng)來適應(yīng)悶熱和潮濕的環(huán)境。

達(dá)到高精準(zhǔn)度不僅僅是運(yùn)用精準(zhǔn)度高的激光光學(xué)主機(jī)那么簡(jiǎn)單，機(jī)械設(shè)計(jì)同樣非常重要，光學(xué)主機(jī)安裝支架運(yùn)用了低膨脹系數(shù)的材料和關(guān)鍵部位的應(yīng)力消除通過退火的方式來減少熱變形。這樣就會(huì)形成一個(gè)穩(wěn)定的測(cè)量系統(tǒng)而不需要頻繁的調(diào)整，在大部分的生產(chǎn)線，物料會(huì)發(fā)生振動(dòng)，我們有一個(gè)系統(tǒng)可以不受振動(dòng)的影響并且精準(zhǔn)度高，這個(gè)是通過測(cè)量不同厚度和高速記錄采樣，頻率為10KHz赫茲的探頭來實(shí)現(xiàn)的。

聯(lián)人（墊）：one three six five two three one one six zero one

四、典型應(yīng)用：

LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)是一個(gè)高精準(zhǔn)度的非接觸式厚度測(cè)量?jī)x器。不管是測(cè)量軟木板還是硬木板，厚的還是薄的都可以提供高精準(zhǔn)度的測(cè)量。

典型應(yīng)用及其精度：

典型應(yīng)用的技術(shù)參數(shù)（人造板行業(yè)應(yīng)用）:

測(cè)量范圍：0.1-30mm

測(cè)量精度：±0.02mm

分辨率：0.001mm

  取樣頻率：10000Hz

工作溫度：0-35ºC

波長(zhǎng)：650nm

激光等級(jí)： 3B

防護(hù)等級(jí)：IP67

線性度：±0.05%

典型應(yīng)用的技術(shù)參數(shù)（鋁箔、銅箔、鋁電池極片行業(yè)應(yīng)用）：

測(cè)量激光波長(zhǎng)：650nm可見光ClassⅡ（FDA）

激光功率：10mW max

激光線性度：±0.05% F.S

分辨率：100nm（測(cè)量范圍10mm）

測(cè)量精度：±2μm

測(cè)量頻率：10KHz

輸出信號(hào)：RS232

輸入電源：115-230VAC 50/60Hz 200VA

掃描速度：0-200mm/s

數(shù)字輸入控制：掃描、校準(zhǔn)、復(fù)位

軟件環(huán)境：專有測(cè)量軟件進(jìn)行系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)處理及存儲(chǔ)

測(cè)量范圍：0-6mm（系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)可選）

單C型架進(jìn)深：長(zhǎng)度可至680 mm

測(cè)量范圍：0 mm≤厚≤32mm；0 mm≤寬≤680mm